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Inorganic regenerable media to purify gas at ambient temperatures to part-per-trillion levels

Entegris' innovative gas microcontamination control products and technologies help ensure our customers are equipped with the latest technologies and are prepared for the challenges of tomorrow's advanced devices. One recent example is the CHS controlled humidity source used to introduce humidity to process and carrier gases such as CDA (clean dry air) and N2, providing a continuous source of ultrapure humidified gas to the process tool.

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